1)長(zhǎng)壽命 無(wú)磨損，具有極佳的工作可靠性。
(2)高性能 極限真空度10-6Pa，泄漏率10-12Pa.m3/sec。
(3)高適應(yīng)性 從低速到高速，從低壓到高壓，從室溫到高溫，均能滿足各種設(shè)備的要求。